VEI-1500
非接触式导电型半导体材料参数测试仪
Non-Contact Parameter Tester for Conductive Semiconductor Materials · VEI-1500面向 4–12 英寸晶圆的方阻、迁移率与载流子面密度全自动面扫描量测。集成非接触式方阻测试模块与非接触迁移率测试模块，支持全自动上下晶圆与批量化测试。
4–12″样品尺寸
64×64可测试点位
6 pcs/h测试效率
0.035–3000方阻范围 Ω/sq
- 定位重复性 ±0.1mm，旋转重复性 ±1.5°，测试样品厚度 100μm–1000μm
- 全自动上下晶圆，单批次不少于 20 片
- 选配：自动测厚、自动巡边、OCR 识别、HMI 测试区域复选
| 指标项目 | 技术指标要求 | 备注 |
|---|---|---|
| 定位重复性 | ± 0.1 mm | — |
| 旋转重复性 | ± 1.5° | — |
| 测试样品厚度范围 | 100 μm – 1000 μm | 晶圆厚度 |
| 样品尺寸 | 4 – 12 英寸 | 载台可选 |
| 可测试点位 | 64 × 64 点（行 × 列） | — |
| 测试探头直径 | ≤ 10 mm | — |
| 测试效率 | 6 片 / 小时 | 每片 256 点（16×16 点） |
| 批量化测试能力 | ≥ 20 片 / 批次 | 全自动上下晶圆 |
| 选配功能 | 自动测厚 / 自动巡边 / OCR 识别 / HMI 复选 | HMI 测试区域复选功能 |
| 指标项目 | 技术指标要求 | 备注 |
|---|---|---|
| 动态重复性 | ≤ 1% | GB/T 4326-2025 |
| 方块电阻测试范围 | 0.035 – 3000 Ω/sq | — |
| 可测试点位 | 64 × 64 点（行 × 列） | — |
| 方块电阻动态和静态重复性 | ≤ 1.5% | GB/T 4326-2025 |
| 线圈直径 | ≤ 10 mm | — |
| 指标项目 | 技术指标要求 | 备注 |
|---|---|---|
| 测试准确性 | ± 5% | GB/T 4326-2025 |
| 载流子迁移率动态重复性 | ≤ 0.5% | — |
| 载流子迁移率静态重复性 | ≤ 0.5% | — |
| 载流子面密度测试范围 | 1×10¹¹ – 1×10¹⁹ cm⁻² | — |
| 载流子迁移率测试范围 | 100 – 20000 cm²/(V·s) | 4–12 寸晶圆 |
| 测试效率 | 6 片 / 小时 | 每片 256 点（16×16 点） |
| 可变换永磁铁方向配置 | 支持方向切换 | 配备永磁铁满足迁移率测试需求 |
全扫描图
8 × 8
16 × 16
32 × 32
64 × 64
米字形扫描
矩形点阵扫描